煤氣發生爐

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真空管式氣相沉積爐
  • AG8亚游集团名稱:

    真空管式氣相沉積爐

  • AG8亚游集团簡介:HY真空管式氣相沉積爐主要為應用在半導體,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化矽、鍍膜等新材料新工藝領域
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AG8亚游集团介紹:

※AG8亚游集团用途:
 HY真空管式氣相沉積爐主要為應用在半導體,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化矽、鍍膜等新材料新工藝領域。
 ※AG8亚游集团結構:   
1、可通入多種氣體,配100ml混氣罐;
2、爐體采用不鏽鋼密封法蘭(鉸鏈結構),耐高溫、耐腐蝕;
3、保護管采用高純剛玉管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
5、爐體采用雙層空氣隔熱技術,配有自動冷卻風扇,降低爐體外殼溫度;
6、控製係統采用進口40段程序控溫,控溫精度±1℃,移相觸發、可控矽控製;
7、真空係統6.67pa(機械泵)或6.67pa×10-3pa(擴散泵機組)
8、選配無紙記錄儀,記錄、存儲、顯示當前或曆史溫度曲線,也可通過U盤轉存入電腦。
8、選配AG8亚游集团智能溫控軟件,通過電腦進行全程監控和操作;
        技術參數    
型號規格 單位 CVD14-50HY CVD14-60HY CVD14-70/80HY CVD14-90HY CVD14-100HY
額定功率 KW 6 6 6 6 6
額定電壓 V 220V 220V 220V 220V 220V
最高溫度 1400 1400 1400 1400 1400
工作溫度 ≤1350 ≤1350 ≤1350 ≤1350 ≤1350
加熱區 mm 350 350 350 350 350
恒溫區 mm 200 200 200 200 200
爐管直徑、長度 mm φ50/1200 φ60/1200 φ80/1200 φ90/1200 φ100/1200
真空度 pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa
氣體通道   三路 三路 三路 三路 三路
流量計種類   質量流量計 質量流量計 質量流量計 質量流量計 質量流量計
A SCCM 0-100 0-100 0-100 0-100 0-100
B SCCM 0-150 0-150 0-150 0-150 0-150
C SCCM 0-200 0-200 0-200 0-200 0-200
混氣罐 V 100ML 100ML 100ML 100ML 100ML
爐膛材料   陶瓷纖維 陶瓷纖維 陶瓷纖維 陶瓷纖維 陶瓷纖維
加熱元件   矽碳棒 矽碳棒 矽碳棒 矽碳棒 矽碳棒
控溫精度 ±1℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
外形尺寸 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600
標配件   爐勾 堵頭 石英舟 內六角扳手 高溫手套
選配件   無紙記錄儀 多段智能溫控儀表 擴散泵    

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